一、潔凈度級(jí)別的定義
FS 209E標(biāo)準(zhǔn)
ISO 14644-1:2015標(biāo)準(zhǔn)
二、潔凈度檢測(cè)方法
潔凈室的級(jí)別是按其空氣潔凈度劃分的。1963年，發(fā)明了單向流理念的圣地亞公司的專家們，在美國(guó)軍方、政府部門(mén)和同行們的支持下撰寫(xiě)了第一個(gè)FS 209標(biāo)準(zhǔn)，以0.5μm粒徑的懸浮粒子數(shù)量作為潔凈度級(jí)別判定的依據(jù)。該標(biāo)準(zhǔn)對(duì)潔凈室的設(shè)計(jì)和運(yùn)行產(chǎn)生了巨大的影響，并成為包括ISO 14644-1在內(nèi)的諸多國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)。FS 209在更新至版本E后被ISO 14644-1所取代，但老版本仍被廣泛采用。下面是FS 209E和ISO 14644-1:2015的分級(jí)示意圖：
在潔凈度級(jí)別的判定和日常檢測(cè)中，檢測(cè)人員應(yīng)確認(rèn)以下測(cè)試參數(shù)：
• 最小采樣點(diǎn)的個(gè)數(shù)
• 采樣點(diǎn)的位置
• 最少采樣體積和采樣時(shí)間
三、檢測(cè)周期• A、B級(jí)區(qū)域最長(zhǎng)檢測(cè)間隔不應(yīng)超過(guò)6個(gè)月；
• C、D級(jí)區(qū)域最長(zhǎng)檢測(cè)間隔不應(yīng)超過(guò)12個(gè)月
四、檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)所使用的粒子計(jì)數(shù)器應(yīng)有有效的校準(zhǔn)證明：校準(zhǔn)的頻率和方法應(yīng)按ISO 21501-4所述的現(xiàn)行認(rèn)可規(guī)定來(lái)執(zhí)行。