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粒子計(jì)數(shù)器在潔凈室領(lǐng)域中的重要作用

粒子計(jì)數(shù)器在潔凈室領(lǐng)域中的重要作用

潔凈室(cleanroom)這個(gè)名詞和概念源于18世紀(jì)六十年代的歐洲醫(yī)學(xué),當(dāng)時(shí)的理解僅限于經(jīng)噴灑消毒后可以控制創(chuàng)部感染率的處置室、手術(shù)室這類滅菌處理的工作環(huán)境?,F(xiàn)代潔凈室雖然延用了這個(gè)名詞,但在定義和內(nèi)涵上都與原有的概念有根本的不同,現(xiàn)代潔凈室形成一項(xiàng)專門技術(shù),其歷史不過只有半個(gè)世紀(jì)。隨著科技的發(fā)展?jié)崈艏夹g(shù)(cleanroom)是適應(yīng)實(shí)驗(yàn)研究與產(chǎn)品加工的精密化、微型化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性等方面要求而誕生的一門新興技術(shù)。


潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)

潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644一樣,都是根據(jù)懸浮粒子濃度這個(gè)唯一指標(biāo)來(lái)劃分潔凈室(區(qū))及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級(jí),并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um 范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群。

為了更好的檢測(cè)潔凈室內(nèi)的粒子可選用粒子計(jì)數(shù)器

粒子計(jì)數(shù)器


粒子計(jì)數(shù)器原理:粒子計(jì)數(shù)器通過采樣泵抽取采樣氣體,在激光室中,通過激光照射采樣氣體,顆粒反射出來(lái)的閃光的頻率,代表顆粒的數(shù)量,反射的光強(qiáng),代表顆粒的粒徑大小。

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