根據(jù)IEST-RP-CC-034.1中的定義,對0.3μm粒徑粒子的最小攔截效率達到99.97%的過濾器被稱為高效過濾器,即High Efficiency Particulate Air,簡稱HEPA。
高效空氣過濾器的常用濾料有超細(xì)玻璃纖維等,被廣泛應(yīng)用于潔凈室空調(diào)機組送風(fēng)末端、潔凈室末端以及各類層流設(shè)備當(dāng)中。
為什么要對進行高效過濾器檢漏
高效檢漏測試旨在驗證潔凈室設(shè)施不存在旁路滲漏,過濾器不存在缺陷(過濾器介質(zhì)和密封框架上的小孔、其他損傷,以及過濾器邊框泄漏),從而確認(rèn)終端高效過濾器安裝良好。
高效過濾器作為攔截粒子的屏障,是潔凈室能否維持相應(yīng)潔凈等級的重要保障。當(dāng)高效過濾器存在漏點時,潔凈室的潔凈度等級將面臨超限的風(fēng)險,產(chǎn)品的放行將會受到挑戰(zhàn)。