潔凈室顆粒物測試標(biāo)準(zhǔn)由 ISO-14644-1 和 ISO-14644-2 制定。在對潔凈室進行顆粒物測試時，請務(wù)必遵循這些標(biāo)準(zhǔn)。環(huán)境科學(xué)與技術(shù)研究所 (IEST) 與 ISO 合作制定測試標(biāo)準(zhǔn)。定期正確執(zhí)行顆粒物測試對于確保潔凈室正常運行至關(guān)重要。本博客介紹了潔凈室顆粒物測試中常見的錯誤。
| 級別 | Maximum Particles/m3 | FED STD 209E 等效標(biāo)準(zhǔn) | |||||
| >0.1 um | >0.2 um | >0.3 um | >0.5 um | >1 um | >5 um | ||
| ISO 1 | 10 | 2 | |||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | Class 1 | |
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | Class 10 | |
| ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | Class 100 |
| ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | Class 1,000 |
| ISO 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | Class 10,000 | |||
| ISO 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | Class 100,000 | |||
| ISO 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | 室內(nèi)空氣 | |||
錯誤＃1：在潔凈室中沒有采集足夠的樣本位置
ISO-14644-1 2015 大幅增加了潔凈室測試所需的采樣位置數(shù)量。請確保采樣位置數(shù)量正確。
| 房間面積 m2 | 房間面積 ft2 | ISO-14644-1: 1999 | ISO-14644-1 2015 |
| 52 | 560 | 8 | 10 |
| 56 | 603 | 8 | 11 |
| 64 | 689 | 8 | 13 |
| 68 | 732 | 9 | 13 |
| 72 | 775 | 9 | 14 |
| 76 | 818 | 9 | 15 |
| 104 | 1119 | 11 | 16 |
| 108 | 1163 | 11 | 17 |
| 116 | 1249 | 11 | 18 |
| 148 | 1593 | 13 | 19 |
| 156 | 1679 | 13 | 20 |
| 192 | 2067 | 14 | 21 |
| 232 | 2497 | 16 | 22 |
| 276 | 2971 | 17 | 23 |
| 352 | 3789 | 19 | 24 |
| 436 | 4693 | 21 | 25 |
| 636 | 6845 | 24 | 26 |
| 1000 | 10764 | 32 | 27 |
| >1000 | >10764 | n/a | 見公式 |
對于面積大于 1000 平方米的房間，使用以下公式：NL = 27 x (面積 ㎡ / 1000)
錯誤＃2：使用錯誤類型的粒子計數(shù)器來測試您的潔凈室
手持式粒子計數(shù)器僅可用于尋找粒子源。它們無法測試足夠大的空氣體積，因此無法準(zhǔn)確測量潔凈室中的粒子密度。應(yīng)使用臺式粒子計數(shù)器測量潔凈室中的粒子密度。臺式粒子計數(shù)器通常測量：較低流速（0.1 cfm）的潔凈室粒子計數(shù)器可用于較低級別的 ISO-7 潔凈室和 ISO-8 潔凈室。較高流速（1.0 cfm）的潔凈室粒子計數(shù)器則適用于較高級別的 ISO-5 潔凈室和 ISO-6 潔凈室。
錯誤＃3：沒有每年校準(zhǔn)粒子計數(shù)器
粒子計數(shù)器應(yīng)每年由制造商或授權(quán)的第三方服務(wù)機構(gòu)按照NIST可追溯標(biāo)準(zhǔn)進行校準(zhǔn)。正確校準(zhǔn)的設(shè)備是獲得精確粒子計數(shù)測量的必要條件。
錯誤＃4：采取正確的粒子測試測量
竣工潔凈室顆粒物測試是在潔凈室剛剛竣工時進行的測試。通常情況下，潔凈室中沒有設(shè)備或人員。靜止?jié)崈羰翌w粒物測試是在潔凈室已投入使用且配備設(shè)備，但無人員在場且無任何操作進行時進行的測試。運行潔凈室顆粒物測試是在人員在潔凈室內(nèi)工作并操作設(shè)備時進行的測試。公司的 QA / ISO / CGMP 程序?qū)⒁?guī)定需要進行哪種潔凈室顆粒物測試。
錯誤＃5：假設(shè)連續(xù)測量顆粒測量系統(tǒng)無需每年進行顆粒測試
一些潔凈室配備了連續(xù)測量顆粒物測量系統(tǒng)。這些系統(tǒng)僅在每個房間的幾個固定位置采樣。為了滿足 ISO-14644 標(biāo)準(zhǔn)并進行有效的潔凈室顆粒物測試，需要設(shè)置比固定位置更多的測試點。因此，仍然應(yīng)該定期進行手動潔凈室顆粒物測試，以確保您的潔凈室符合其設(shè)計的潔凈室等級。
總結(jié)：
定期進行有效的潔凈室顆粒物測試對于確保潔凈室正常運行至關(guān)重要。ISO14644-1 和 ISO14644-2 是潔凈室分類和潔凈室顆粒物測試的 ISO 標(biāo)準(zhǔn)。潔凈室顆粒物測試中最常見的五個錯誤是：
1) 采樣點不足
2) 未使用正確的顆粒物計數(shù)器
3) 未定期校準(zhǔn)顆粒物計數(shù)器
4) 未選擇潔凈室顆粒物測試要求
5) 依賴連續(xù)測量系統(tǒng)而非定期進行潔凈室顆粒物測試。